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芯片厂酸性废气怎么处理
2022-06-07 10:18:52
【文章】
随着科技进度,我国芯片制造行业飞速发展,行业技术日新月异,产品规模持续走高。芯片在制造工艺中使用各种酸液清洗、刻蚀芯片等过程中产生HF、HCl、硫酸雾等酸性气体。对于芯片厂企业在生产工艺过程中产生的腐蚀性气体(如酸、碱性废气)的治理,目前大多企业采用液体吸收法治理。