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  • 半导体芯片废气处理方法有哪些

    半导体芯片废气处理方法有哪些 2024-03-06 15:09:00 【文章】

    半导体制造工艺中使用，产生酸性、碱性、有机废气，这些废气如果没有经过处理直接排放，将造成严重的污染问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，因此，必须对半导体废气进行净化处理后，达到大气污染物标准排放。